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Menetelmä ja laite pinnan korkeustiedon määrittämiseksi pinnan tasomaisuuden mittauksessa

机译:在表面平面度测量中确定表面高程信息的方法和设备

摘要

The invention concerns a method and arrangement for determining altitude data while measuring the evenness of a surface. A photograph of the surface is taken to form a video signal of the line picture type. From the video signal, phase information is detected for a carrier wave and the phase information is used to determine the [altitude?] data z. According to the invention, a phase- locked loop is used during the phase detection, in which a phase comparison is done. The momentary phase difference signals obtained from the phase comparisons are low-pass filtered to attenuate excessive phase alterations. For determination of the phase information, in addition to the momentary phase difference signals in the phase-locked loop 13, PLL, the method determines the absolute cumulative phase information φabs by determining the phase difference of each pixel in relation to the starting point S of the computation. IMAGE
机译:本发明涉及一种在测量表面平整度的同时确定高度数据的方法和装置。拍摄表面照片以形成线图像类型的视频信号。从视频信号中,检测出载波的相位信息,并将该相位信息用于确定[高度α]数据z。根据本发明,在相位检测期间使用锁相环,其中完成相位比较。从相位比较中获得的瞬时相位差信号经过低通滤波,以衰减过多的相位变化。为了确定相位信息,除了锁相环13中的瞬时相位差信号PLL以外,该方法还通过确定每个像素相对于像素的起点S的相位差来确定绝对累积相位信息φabs。计算。 <图像>

著录项

  • 公开/公告号FI98959C

    专利类型

  • 公开/公告日1997-09-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SPECTRA-PHYSICS VISIONTECH OY;

    申请/专利号FI19950000748

  • 发明设计人 PAAKKARIJUSSI;ALAPURANENPERTTI;

    申请日1995-02-17

  • 分类号G01B11/24;

  • 国家 FI

  • 入库时间 2022-08-22 03:27:06

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