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WEB GROWTH CONFIGURATION FOR HIGHER PRODUCTIVITY AND 100 FEED RATE CAPABILITY AT WIDE WIDTHS

机译:Web增长配置可在更高的宽度上实现更高的生产率和100%的进给率能力

摘要

A new lid and shield configuration for use in growing silicon dendritic web crystals is disclosed. The arrangement includes a plurality of spaced apart shields stacked above a lid having a slot therein through which dendritic web crystals are pulled. The shields also have slots in them, each successive shield having a slot slightly larger than that of the shield beneath it. The result is the ability for 100% melt replenishment plus increased productivity.
机译:公开了一种用于生长硅树枝状网状晶体的新的盖和屏蔽结构。该装置包括多个间隔开的屏蔽件,这些屏蔽件堆叠在盖子上方,盖子上具有在其中的槽,通过该槽拉出树枝状纤网晶体。屏蔽层中也有槽,每个连续的屏蔽层的槽都比其下方的屏蔽层的槽稍大。结果是能够100%补充熔体并提高生产率。

著录项

  • 公开/公告号KR0134185B1

    专利类型

  • 公开/公告日1998-04-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 EBARA SOLAR INC.;

    申请/专利号KR19900007135

  • 发明设计人 PIOTROWSKI PAUL ANTONY;

    申请日1990-05-18

  • 分类号C30B15/34;C30B29/06;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 02:47:31

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