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机译:真空处理腔室的颗粒流限制器和限制颗粒流的方法
公开/公告号IL125038A
专利类型
公开/公告日1999-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 GIDEON DRIMER;ARIE GLAZER;PERSYS TECHNOLOGY LTD.;
申请/专利号IL125038
发明设计人 GIDEON DRIMER;ARIE GLAZER;
申请日1998-06-22
分类号6B01DA;
国家 IL
入库时间 2022-08-22 02:27:09
机译: 真空处理腔室的颗粒流限制器和限制颗粒流的方法
机译: 用于真空处理室的颗粒流限制器和限制颗粒流的方法