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Portable gas chromatograph-mass spectrometer system using getter pump.

机译:使用吸气泵的便携式气相色谱-质谱仪系统。

摘要

A gas analyzing system that includes a vacuum chamber containing a mass spectrometer and a sampling device for introducing a gas sample into the chamber. A sorption pump is operatively connected to the chamber which is capable of maintaining the chamber at a high vacuum. The pump includes a diffusion barrier that provides smooth pumping characteristics and repeatable short term system behavior when sample pulses are introduced into the system.
机译:一种气体分析系统,包括:真空室,其包含质谱仪;以及采样装置,用于将气体样品引入所述室中。吸附泵可操作地连接到腔室,其能够将腔室保持在高真空。该泵包括一个扩散屏障,当将采样脉冲引入系统时,该扩散屏障可提供平滑的泵浦特性和可重复的短期系统性能。

著录项

  • 公开/公告号EP0644576B1

    专利类型

  • 公开/公告日1999-12-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LEYBOLD INFICON INC;

    申请/专利号EP19940113912

  • 申请日1994-09-06

  • 分类号H01J49/04;G01N30/72;H01J49/24;H01J41/12;F04B37/02;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 01:50:05

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