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Means for reducing the contamination of mass spectrometer leak detector ion sources

机译:减少质谱仪检漏仪离子源污染的方法

摘要

In a mass spectrometer leak detector an ion source assembly is disposed in a cavity of a vacuum envelope and is surrounded by a thin removable liner which has means for positioning this liner within the cavity. The liner positioning means limit the thermal contact of the liner with the vacuum envelope and due to heat-radiation relationship of the liner with the ion source the temperature of the ion source region increases and contamination of the ion source decreases.
机译:在质谱仪检漏仪中,离子源组件被放置在真空外壳的腔室中,并被薄的可移动衬里所包围,该衬里具有用于将该衬里放置在腔内的装置。衬套定位装置限制了衬套与真空封套的热接触,并且由于衬套与离子源的热辐射关系,离子源区域的温度增加并且离子源的污染减少。

著录项

  • 公开/公告号EP0717433B1

    专利类型

  • 公开/公告日2000-09-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 VARIAN INC;

    申请/专利号EP19950309037

  • 发明设计人 BUTTRILL SIDNEY;

    申请日1995-12-12

  • 分类号H01J49/14;G01M3/20;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 01:48:53

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