系统,以确保通过真空泵(3)抽出的外壳(1)中的压力得到调节,其特征在于,配备有电动阀的管道(5)到可变孔(6),将靠近泵出口的一个或多个级(8)连接到靠近泵吸入的一个或多个级(9),阀门(6)的开度由来自电子电路的信号(10)控制(11)为了将外壳(1)的压力p控制到值p1,所述回路(11)接收信号(12)作为输入,该信号(12)代表外壳中测得的压力(13)。 p>
公开/公告号FR2773403B1
专利类型
公开/公告日2000-02-04
原文格式PDF
申请/专利号FR19980000036
申请日1998-01-06
分类号G05D16/20;F04B49/06;F04D19/04;F04D27/00;
国家 FR
入库时间 2022-08-22 01:39:58