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Metal ion reduction in novolak resin solution using an anion exchange resin

机译:使用阴离子交换树脂还原线型酚醛清漆树脂溶液中的金属离子

摘要

The present invention provides methods for producing water insoluble, aqueous alkali soluble novolak resins having a very low level of metal ions, utilizing a specially treated anion exchange resin. A method is also provided for producing photoresist composition having a very low level of metal ions from such novolak resins and for producing semiconductor devices using such photoresist compositions.
机译:本发明提供了使用经过特殊处理的阴离子交换树脂来生产具有非常低的金属离子含量的水不溶性,碱金属可溶的线型酚醛清漆树脂的方法。还提供了一种由这种酚醛清漆树脂生产具有非常低水平的金属离子的光致抗蚀剂组合物的方法,以及使用这种光致抗蚀剂组合物生产半导​​体器件的方法。

著录项

  • 公开/公告号US6043002A

    专利类型

  • 公开/公告日2000-03-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED;

    申请/专利号US19970902442

  • 发明设计人 M. DALIL RAHMAN;

    申请日1997-07-29

  • 分类号G03F7/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 01:37:29

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