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SYSTEM AND METHOD OF MULTI-MODE CANTILEVER AND MULTI-MODE TORSIONAL MICRO-OSCILLATORS FOR FORCE MICROSCOPY

机译:用于力显微镜的多模式悬臂和多模式扭转微振动器的系统和方法

摘要

The present invention provides a multi-mode torsional oscillator for use in a force sensing microscopy tool, In one embodiment of the present invention a sample is mounted on a multi-mode torsional oscillator. A magnetic field generator polarizes the sample and couples a moment of the sample to the multi-mode torsional oscillator. A sensing system detects the motion of the multi-mode torsional oscillator in response to forces exerted on the sample and provides an output signal. A processor receives the output signal and processes the output signal to reproduce a data representative of the moments contained within the sample.
机译:本发明提供了一种用于力感测显微镜工具中的多模式扭转振荡器。在本发明的一个实施例中,将样本安装在多模式扭转振荡器上。磁场发生器使样品极化,并将样品的力矩耦合到多模扭转振荡器。传感系统响应于施加在样品上的力来检测多模式扭转振荡器的运动并提供输出信号。处理器接收输出信号并处理该输出信号以再现表示样本中包含的矩的数据。

著录项

  • 公开/公告号WO0073821A1

    专利类型

  • 公开/公告日2000-12-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 XIDEX CORPORATION;

    申请/专利号WO2000US14774

  • 发明设计人 MARKERT JOHN T.;

    申请日2000-05-26

  • 分类号G01V3/00;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-22 01:19:10

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