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Interferometric testing system for spherical surfaces of optical components has diffractive optical component with high converging power to form test beam path with aplanatic output for testing lens

机译:用于光学部件的球形表面的干涉测试系统具有高会聚能力的衍射光学部件,以形成具有平面输出的测试光束路径,用于测试透镜

摘要

A positive test objective with one lens is tested using an interferometer and a diffractive optical component (4) arranged on a carrier. The diffractive optical component has a high converging power and a test beam path (2) is formed with aplanatic output.
机译:使用干涉仪和布置在载体上的衍射光学组件(4)对带有一个透镜的正测试物镜进行测试。衍射光学元件具有高会聚能力,并且测试光束路径(2)形成为非平面输出。

著录项

  • 公开/公告号DE10005170A1

    专利类型

  • 公开/公告日2001-08-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CARL ZEISS;

    申请/专利号DE2000105170

  • 发明设计人 FREIMANN ROLF;

    申请日2000-02-05

  • 分类号G01B9/02;G01M11/00;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 01:09:58

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