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System and method of improving electromagnetic radiation beam characteristics in ellipsometer and the like systems

机译：改进椭偏仪等系统中电磁辐射束特性的系统和方法

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摘要

Disclosed are systems for, and methods of controlling radial energy density profiles in, and/or cross-section dimensioning of electromagnetic beams in polarimeters, ellipsometers, reflectometers and spectrophotometers.

机译：公开了用于控制电磁束中的径向能量密度分布和/或在偏振计，椭圆仪，反射计和分光光度计中的横截面尺寸的系统和方法。

著录项

公开/公告号US2001033377A1

专利类型
公开/公告日2001-10-25

原文格式PDF
申请/专利权人 WELCH JAMES D.;JOHS BLAINE D.;LIPHARDT MARTIN M.;HE PING;
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申请/专利号US20010840483
发明设计人 BLAINE D. JOHS;PING HE;JAMES D. WELCH;MARTIN M. LIPHARDT;
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申请日2001-04-23
分类号G01J4/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 01:06:56

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