公开/公告号US6190037B1
专利类型
公开/公告日2001-02-20
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US19990253220
发明设计人 MARC SCHWEITZER;UMESH KELKAR;NALIN PATADIA;WEI YANG;VIJAY PARKHE;ASHOK DAS;SCOT PETITT;NITIN KHURANA;NETY KRISHNA;
申请日1999-02-19
分类号G01J50/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 01:05:08