机译:检验工单接收方法,检查设备工单接收方法,基板制造工单接收方法,检验工单接收系统,检验装置工单接收系统和基板制造工单接收系统
公开/公告号JP2002183536A
专利类型
公开/公告日2002-06-28
原文格式PDF
申请/专利权人 RICOH MICROELECTRONICS CO LTD;
申请/专利号JP20000384249
发明设计人 OKAMURA YUKITO;
申请日2000-12-18
分类号G06F17/60;G05B19/418;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 00:56:14