机译:图案中心确定设备和方法以及记录有图案中心确定程序的介质,图案取向确定设备和方法以及记录有图案取向确定程序的介质,图案对准设备和图形模式验证装置
公开/公告号US2002061125A1
专利类型
公开/公告日2002-05-23
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJII YUSAKU;
申请/专利号US20010816232
发明设计人 YUSAKU FUJII;
申请日2001-03-26
分类号G06K9/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:52:08