公开/公告号US2002144783A1
专利类型
公开/公告日2002-10-10
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US20010827877
发明设计人 HONG BEE TEOH;ROMMEL RUIZ;A VGERINOS JERRY GELATOS;MARLON EDWARD MENEZES;TRUC TRAN;YEHUDA DEMAYO;RAMANUJAPURAM ANANDAMPILLAI SRINIVAS;VICKY UYEN NGUYEN;
申请日2001-04-05
分类号C23F1/00;C03C25/68;H01L21/302;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:50:29