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Cleanliness verification system

机译:清洁度验证系统

摘要

A method for detecting contaminants on an implement. A stream of gas is directed over at least a portion of the implement, to entrain at least a portion of the contaminants on the implement, and produce a contaminant laden stream of gas. At least a portion of the contaminant laden stream of gas is sampled, and the amount of contaminants in the sampled portion of the contaminant laden stream of gas is measured. The amount of contaminants in the sampled portion of the contaminant laden stream of gas is reported.
机译:一种用于检测工具上的污染物的方法。气流被引导经过工具的至少一部分,以在工具上夹带至少一部分污染物,并产生载有污染物的气流。对至少一部分载有污染物的气流进行采样,并测量在载有污染物的气流的采样部分中的污染物量。报告了载有污染物的气流样品部分中的污染物数量。

著录项

  • 公开/公告号US6412358B1

    专利类型

  • 公开/公告日2002-07-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LSI LOGIC CORPORATION;

    申请/专利号US20000639449

  • 发明设计人 MICHAEL S. GATOV;

    申请日2000-08-15

  • 分类号G01N11/40;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 00:47:50

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