公开/公告号DE10103670A1
专利类型
公开/公告日2002-08-01
原文格式PDF
申请/专利权人 CHRISTIANSEN JENS I.;CHRISTIANSEN SILKE;PROF-DR.HORST P.STRUNK UNIVERSITAET ERLANGEN-NUERNBERG INSTITUT FUER WERKSTOFFWISSENSCHAFTEN LS MIKROCHARAKTERISIERUNG;BAYERISCHES LASER-ZENTRUM GMBH;
申请/专利号DE20011003670
发明设计人 CHRISTIANSEN JENS INGWER;CHRISTIANSEN SILKE;STRUNK HORST PAUL;OTTO ANDREAS;ESER GERD;URMONEIT UWE;
申请日2001-01-27
分类号H01L21/322;C30B33/04;H01L31/0392;H01L31/18;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 00:27:08