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RADIATION SENSITIVE COMPOSITION WITH VARIABLE DIELECTRIC CONSTANT AND METHOD FOR VARYING DIELECTRIC CONSTANT

机译:可变介电常数的辐射敏感成分及改变介电常数的方法

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide such a radiation sensitive composition with a variable dielectric constant that the dielectric constant of the material can be varied by an easy method, the difference in the varied dielectric constant is sufficiently large, and a stable dielectric pattern or an optical material can be obtained without depending on the use conditions in the succeeding process. SOLUTION: The radiation sensitive composition with a variable dielectric constant contains (A) a decomposable polymer, (B) a non-decomposable polymer, (C) a radiation sensitive decomposing agent and (D) a stabilizer.
机译:解决的问题:为了提供一种具有可变介电常数的辐射敏感组合物,使得可以通过一种简便的方法改变材料的介电常数,改变后的介电常数之间的差异应足够大,并且要有稳定的介电图案或可以不依赖于后续工艺中的使用条件而获得光学材料。解决方案:介电常数可变的辐射敏感性组合物包含(A)可分解的聚合物,(B)不可分解的聚合物,(C)辐射敏感的分解剂和(D)稳定剂。

著录项

  • 公开/公告号JP2003043682A

    专利类型

  • 公开/公告日2003-02-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 JSR CORP;

    申请/专利号JP20010233520

  • 申请日2001-08-01

  • 分类号G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;H01L23/12;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 00:17:47

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