机译:相对移动物体和脉冲光的扫描曝光,通过将来自光源,光源及其制造方法的脉冲光投射到基质上,将图案投射到基质上,从而将基质暴露于基质中
公开/公告号US6538723B2
专利类型
公开/公告日2003-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 NIKON CORPORATION;
申请/专利号US19990351173
申请日1999-07-12
分类号G03B275/40;G03B277/40;G03B274/20;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:05:31