公开/公告号WO02075824A3
专利类型
公开/公告日2003-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;GESANG THOMAS;MAURIESCHAT UWE;KNAEBEL HARALD;SCHAEFER HELMUT;
申请/专利号WO2002DE00942
申请日2002-03-15
分类号H01L41/22;F03G7/06;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 23:55:50