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机译:使用带有滚筒的抛光布修整半导体光盘的圆角边缘,使返回点移向抛光布中心
公开/公告号DE10214129C1
专利类型
公开/公告日2003-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 WACKER SILTRONIC AG;
申请/专利号DE2002114129
发明设计人 GOLLNOW HERBERT;AIGNER WERNER;
申请日2002-03-28
分类号H01L21/302;B24B37/04;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 23:42:04
机译: 用于抛光半导体盘边缘的抛光鼓连接到用于通过使用鼓主体,鼓支架,带密封件的鼓盖和鼓外套来固定抛光布的方式通过磨圆来修整边缘的装置。
机译: 抛光设备,抛光布携带装置,抛光布固定装置和抛光布
机译: 双面硅晶片抛光机中使用的抛光布的清洁方法,包括将刷盘布置在承载盘上,以在清洁抛光布的同时在承载盘存在的情况下提供清洁剂