公开/公告号JP2004075415A
专利类型
公开/公告日2004-03-11
原文格式PDF
申请/专利号JP20020234746
发明设计人 SHIRAKAWA NAOKI;IKEDA SHINICHI;KOIKE SATOSHI;KOIKEGAMI SHIGERU;YOSHIDA YOSHIYUKI;YANAGISAWA TAKASHI;NAGAI ICHIRO;
申请日2002-08-12
分类号C30B29/22;B01J3/00;B01J19/08;H01L27/105;H01L39/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 23:35:57