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CVD codeposition of A1 and one or more reactive (gettering) elements to form protective aluminide coating

机译:A1和一种或多种反应性(吸气)元素的CVD共沉积以形成保护性铝化物涂层

摘要

CVD aluminide coatings including a small concentration of a reactive, gettering element for surface active impurities dispersed therein are formed for improved oxidation resistance. The aluminide coatings are formed by CVD codeposition of Al and the gettering element on the substrate using coating gases for the gettering element generated either outside or inside the coating retort depending on the chlorination temperature needed for the particular gettering element.
机译:形成包括用于分散在其中的用于表面活性杂质的小浓度的反应性吸杂元素的CVD铝化物涂层,以提高抗氧化性。铝化物涂层是通过将Al和吸气元素在基体上进行CVD共沉积而形成的,使用的气体是在吸气罐外部或内部根据特定吸气元素所需的氯化温度而生成的,用于吸气元素的涂覆气体。

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