公开/公告号WO02091422A3
专利类型
公开/公告日2004-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2002US14648
发明设计人 WANG WEIDONG;VENEKLASEN LEE H. DI;WINTER STACEY J.;RISHTON STEPHEN A.;VARNER JEFFREY K.;SAGLE ALLAN L.;
申请日2002-05-07
分类号H01J37/317;H01J37/302;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 23:00:41