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Optoelectronic movement sensor has polished glass measurement plate with rows of slits to form diffraction slits for different colored light under slot in sampling plate

机译:光电运动传感器具有抛光的玻璃测量板,该测量板具有成排的狭缝,以在采样板的狭缝下形成用于不同颜色光的衍射狭缝

摘要

An optoelectronic movement sensor has a polished glass measurement plate (2) with three mutually offset rows (6a, b, c) of slits lit by different colored light (4a, b, c) and exposed by the sharp edged slot (5) in a moving sampling plate (1) to make diffraction slits (b1, 2, 3) with sensor and processor to calculate the movement from the diffraction pattern.
机译:光电运动传感器具有一块抛光的玻璃测量板(2),该测量板具有三个相互偏移的行(6a,b,c),这些行的缝隙被不同颜色的光(4a,b,c)照亮,并被锐边槽(5)暴露一个移动的采样板(1),用传感器和处理器制成衍射缝隙(b1、2、3),以根据衍射图样计算运动。

著录项

  • 公开/公告号DE10229827A1

    专利类型

  • 公开/公告日2004-01-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;

    申请/专利号DE2002129827

  • 发明设计人 WAHL EBERHARD;

    申请日2002-07-01

  • 分类号G01B11/02;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 22:44:08

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