公开/公告号DE10260645B3
专利类型
公开/公告日2004-09-16
原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;
申请/专利号DE2002160645
发明设计人 NESLADEK PAVEL;PRECHTL GERHARD DR.;RUHL GUENTHER;SABISCH WINFRIED;GANS FRITZ;ANDERSON REX;KERSCH ALFRED;
申请日2002-12-23
分类号H01L21/68;H01L21/306;H01J37/32;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 22:43:35