用于测量第一物体相对于第二物体的相对位移或相对位置的非接触系统(S'),包括传感器模块(1),该传感器模块包括固定在第一物体上的发射板和接收板连接到第二物体,基本上相对设置并设有电极。发射电极和接收电极布置成构成第一电容,该第一电容根据发射板和接收板之间的距离而变化,并且第二电容根据所述板的相对未对准而变化。提供了电子模块(500),用于执行(i)代表第一电容的倒数的第一信号和(ii)代表第二电容与第一电容之比的第二信号的模拟计算。尤其用于控制大型望远镜中的分段镜 P>
公开/公告号FR2844048A1
专利类型
公开/公告日2004-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 NANOTEC SOLUTION;
申请/专利号FR20020010754
发明设计人 DIDIER ROZIERE;
申请日2002-08-30
分类号G01D5/241;G02B5/09;G02B23/02;
国家 FR
入库时间 2022-08-21 22:39:24