公开/公告号JP2005128558A
专利类型
公开/公告日2005-05-19
原文格式PDF
申请/专利号JP20040310682
发明设计人 LAI KAFAI;MUKHERJEE MAHARAJ;LAVIN MARK A;SHLAFMAN SHLOMO;GOFMAN EMANUEL;GALLATIN GREGG M;RAMM DOV;ROSENBLUTH ALAN E;
申请日2004-10-26
分类号G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:36:17