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机译:有几个燃烧器和几个目标的方法和设备,用于在aussenfl上放置等离子cvd
公开/公告号AT299841T
专利类型
公开/公告日2005-08-15
原文格式PDF
申请/专利权人 FIBERCORE INC.;
申请/专利号AT20020713726T
发明设计人 WU DAU;ASLAMI MOHD A.;GOUSKOV MIKHAIL I.;DANILOV EVGUENIE B.;
申请日2002-03-06
分类号C03B37/014;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 22:15:18
机译: 有几个燃烧器和几个目标的方法和设备,用于在aussenfl上放置等离子cvd
机译: 在外表面上具有多个燃烧器和多个等离子体靶的方法和设备
机译: 等离子体CVD装置的基板及其制造方法,等离子体CVD装置和等离子体CVD装置的维护方法以及制造半导体装置的方法