公开/公告号EP1561089A1
专利类型
公开/公告日2005-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 INSTITUT FUER PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE E.V.;TEMPLATEC-SOFTWAREENT WICKLUNG CHRISTIAN SCHACHT;ZABEL GBR;CS CLEAN SYSTEMS AG;
申请/专利号EP20030785504
申请日2003-11-11
分类号G01J3/28;G01J3/04;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 22:07:09