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MICRO CORNER CUBE ARRAY, METHOD OF MAKING THE MICRO CORNER CUBE ARRAY, AND DISPLAY DEVICE

机译:微角锥阵列,制作微角锥阵列的方法和显示装置

摘要

Method for producing a micro-corner cube array has at least the surface part of the step of configuring is provided a substrate having generally parallel surfaces on the {111} plane of the crystal as a cubic single crystal, the substrate and the reaction substrate to an etching gas anisotropic dry etching of the surface, thereby forming a plurality of unit elements of the micro-corner cube array on a surface of the substrate. Each unit element comprises a plurality of crystal planes are etched at an etching rate smaller than cotton (111) of the crystals.
机译:提供一种至少具有配置步骤的表面部分的微角立方阵列的方法,其提供了在晶体的{111}平面上具有大致平行的表面作为立方单晶的衬底,该衬底和反应衬底。表面的蚀刻气体各向异性干法蚀刻,从而在基板的表面上形成微角立方阵列的多个单位元件。每个单元元件包括以小于晶体的棉(111)的蚀刻速率蚀刻的多个晶面。

著录项

  • 公开/公告号KR100472883B1

    专利类型

  • 公开/公告日2005-03-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20020078970

  • 申请日2002-12-12

  • 分类号G02F1/1335;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:04:08

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