公开/公告号DE10346026A1
专利类型
公开/公告日2005-05-04
原文格式PDF
申请/专利号DE20031046026
发明设计人 MEYER MORITZ ANDREAS 01259 DRESDEN DE;ZSCHECH EHRENFRIED 01468 MORITZBURG DE;LANGER ECKHARD 01445 RADEBEUL DE;
申请日2003-10-02
分类号H01L21/66;H01L21/768;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 22:01:10