要解决的问题:提供一种视觉检查装置,该视觉检查装置能够检测基板表面上的凹痕缺陷而不会被错误地确定。解决方案:用于实现本发明的用于基板的视觉检查装置的计算部分130包括用于生成多个分辨率的图像的多分辨率图像准备部分131,执行预定的带通滤波器处理的预处理部分132。 ,用于执行Sobel滤波处理以生成浓度梯度图像数据的浓度梯度计算部133,用于执行标记处理以指定区域的二值化标记部134,用于计算该区域中的特征量的特征量计算部135,凹痕缺陷确定部分136,用于基于特征量确定凹痕缺陷的存在;强度计算部分137,用于计算凹痕缺陷的强度;以及基板确定部分139,用于确定是否需要对检查的基板进行校正或校正。不。
版权:(C)2006,JPO&NCIPI
公开/公告号JP2006145484A
专利类型
公开/公告日2006-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 SHARP CORP;
申请/专利号JP20040339156
发明设计人 YASUKAWA MINORU;
申请日2004-11-24
分类号G01N21/956;G06T1/00;G06T5/20;G06T7/60;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:52:14