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Silicon-based tunable single passband optical filter

机译:硅基可调谐单通带光学滤波器

摘要

A tunable optical filter includes a tunable Fabry-Perot (FP) filter, two tunable waveguide Bragg gratings (WBGs) and a 2×2 3-dB coupler. In one embodiment, the WBGs are implemented in a silicon substrate using polysilicon filled trenches. The FP filter is implemented with two silicon nitride trench WBGs with a gap region between them. The FP filter and the WBGs are respectively tuned to transmit and reflect a selected wavelength. A broadband optical signal is propagated into a first port of the coupler. The coupler propagates half of the beam to one WBG and the other half to the other WBG. The WBGs reflect these portions back to the coupler, which then propagates the reflected portions to the FP filter.
机译:一种可调光学滤波器,包括可调Fabry-Perot(FP)滤波器,两个可调波导布拉格光栅(WBG)和一个2×2 3 dB耦合器。在一实施例中,使用多晶硅填充的沟槽在硅衬底中实现WBG。 FP滤波器由两个氮化硅沟槽WBG组成,它们之间有间隙区域。分别调整FP滤波器和WBG以透射和反射选定的波长。宽带光信号被传播到耦合器的第一端口。耦合器将光束的一半传播到一个WBG,另一半传播到另一WBG。 WBG将这些部分反射回耦合器,然后耦合器将反射的部分传播到FP滤波器。

著录项

  • 公开/公告号US7106922B2

    专利类型

  • 公开/公告日2006-09-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ANSHENG LIU;

    申请/专利号US20040848663

  • 发明设计人 ANSHENG LIU;

    申请日2004-05-18

  • 分类号G02B6/26;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 21:44:31

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