公开/公告号KR20060107523A
专利类型
公开/公告日2006-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;
申请/专利号KR20067008015
发明设计人 DINGER UDO;EISERT FRANK;KOEHLER STEFAN;OCHSE ANDREAS;ZELLNER JOHANNES;LOWISCH MARTIN;LAUFER TIMO;
申请日2006-04-26
分类号G03F7/20;G02B17/06;G21K1/06;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 21:24:51