机译:Wafer用于动态RAM生产的结构化样品上表面测试方法,涉及找到离子从表面到验证装置飞行时间的表面积距离,并接收指示表面部分的结果
公开/公告号DE102004047307A1
专利类型
公开/公告日2006-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;
申请/专利号DE20041047307
发明设计人 VERHOEVEN MARTIN;
申请日2004-09-29
分类号G01B15;H01L21/66;H01J49/40;G01N27/62;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 21:20:40