机译:基材例如玻璃基板,减薄装置,具有确定单元,其基于传感器单元的输出值,厚度目标值和基于输出和目标值之差指定的辅助值来确定减薄周期值
公开/公告号DE102004059123A1
专利类型
公开/公告日2006-06-14
原文格式PDF
申请/专利号DE20041059123
发明设计人 BITZER THOMAS;
申请日2004-12-08
分类号G05D5/02;C23F1/08;C03C15;C04B41/91;H01L21/302;H01L21/306;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 21:20:32