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The control of the pressure in the chamber of 1995 by variation of speed of pump, valve regulation and injection of neutral gas

机译：通过改变泵的速度，调节阀和注入中性气体来控制1995年腔室中的压力

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公开/公告号FR2854667B1

专利类型
公开/公告日2006-07-28

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申请/专利权人 ALCATEL;
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申请/专利号FR20030005615
发明设计人 SEBASTIEN MUNARI;ROLAND BERNARD;JEAN PIERRE DESBIOLLES;CLAUDE ROUSSEAU;
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申请日2003-05-09
分类号F04B41/06;F04B49/00;F04B49/20;F04B37/14;G05D16/20;F04C23/00;F04C29/08;F04C25/02;F04D25/16;F04D27/00;F04D19/04;
国家 FR
入库时间 2022-08-21 21:17:36

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