要解决的问题:提供一种InN / InP / TiO 解决方案:电极包括基底,二氧化钛薄膜层和包括磷化铟光敏薄膜和氮化铟光敏薄膜的光敏层。在其制造方法中,二氧化钛薄膜层被涂覆在基板上。将包含二氧化钛薄膜层的基板放入反应室中。将包含纳米微粒的磷化铟溶液施加到二氧化钛薄膜层上以形成磷化铟光敏薄膜。然后,引入氨气和包含铟的化合物并用紫外线激发,从而在磷化铟光敏薄膜上生长氮化铟光敏薄膜。由磷化铟光敏薄膜和氮化铟光敏薄膜形成光敏层。 版权:(C)2007,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2007234568A
专利类型
公开/公告日2007-09-13
原文格式PDF
申请/专利号JP20060164467
发明设计人 TZENG YEN-CHANG;KUO MING-CHAO;LAN SHAN-MING;LEE CHI-SHEN;LIN LI-FU;YANG TSUN-NENG;WEI TSONG-YANG;CHIU JYH-PERNG;SHIEH DER-JHY;LIN MING-ZHANG;
申请日2006-06-14
分类号H01M14/00;H01L31/04;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:16:03