要解决的问题:提供用于成膜具有改善的取向再现性的YBCO基高温超导体的复合基材,该复合基材能够成膜具有改善的取向特性的YBCO基高温超导膜。本发明提供了一种在成膜条件上变化的方法,并提供了一种具有改善的取向性能的YBCO基高温超导膜的制造方法。
解决方案:在用于具有更好的取向再现性的YBCO基高温超导体成膜的复合基材中,Zr或Zr氧化物部分地存在于取向了晶体取向的基材表面上。在具有改善的取向特性的YBCO基高温超导膜的制造方法中,通过使用用于成膜YBCO基高温超导体的复合基材来制造超导膜。
版权:(C)2008,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2007257872A
专利类型
公开/公告日2007-10-04
原文格式PDF
申请/专利号JP20060077138
申请日2006-03-20
分类号H01B12/06;H01B13;C23C14/06;H01L39/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:13:31