公开/公告号AT364735T
专利类型
公开/公告日2007-07-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SEMITOOL INC.;
申请/专利号AT19990916437T
发明设计人 RAYMOND W.;ARTHUR H.;
申请日1999-04-07
分类号C23C8/10;C23C8/02;C23C8/14;C23C8/16;C23C8/18;C23C8/80;C23C22/06;C23C22/08;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 20:55:05