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METHOD AND DEVICE FOR ANALYSING A SAMPLE BY MEANS OF A RASTER SCANNING PROBE MICROSCOPE

机译:用光栅扫描探针显微镜对样品进行分析的方法和装置

摘要

The invention relates to an apparatus and a method for a scanning probe microscope, comprising a measuring assembly which includes a lateral shifting unit to displace a probe in a plane, a vertical shifting unit to displace the probe in a direction perpendicular to the plane, and a specimen support to receive a specimen. A condenser light path is formed through the measuring assembly so that the specimen support is located in the area of an end of the condenser light path.
机译:用于扫描探针显微镜的设备和方法技术领域本发明涉及一种用于扫描探针显微镜的设备和方法,其包括测量组件,该测量组件包括用于在平面内移动探针的横向移动单元,用于在垂直于平面的方向上移动探针的垂直移动单元以及标本支架以接收标本。穿过测量组件形成聚光器光路,使得样本支架位于聚光器光路的端部区域。

著录项

  • 公开/公告号EP1430486B1

    专利类型

  • 公开/公告日2007-10-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 JPK INSTRUMENTS AG;

    申请/专利号EP20020776747

  • 发明设计人 KAMPS JOERN;

    申请日2002-09-24

  • 分类号G12B21/08;G12B21/22;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 20:49:15

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