机译:样品处理聚焦离子束系统,例如半导体器件的缺陷分析,具有将输出区域固定设置设置为数据输出,并根据有关设置的数据控制区域控制聚光镜,电极和透镜
公开/公告号DE102006018942A1
专利类型
公开/公告日2006-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 JEOL LTD.;
申请/专利号DE20061018942
发明设计人 MATSUBA MASAHIRO;
申请日2006-04-24
分类号H01J37/304;H01J37/305;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 20:29:19