公开/公告号DE69837060D1
专利类型
公开/公告日2007-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 HORIBA LTD.;
申请/专利号DE1998637060T
申请日1998-05-28
分类号G01B11/00;G01N27/414;G01D5/12;G01J5/10;G01K1/02;G01L1/00;G01L9/00;G01N27/00;G01N27/416;G01R33/10;H01L21/66;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 20:27:21