解决方案:在通过激光烧蚀的功能膜的制造方法及其中使用的激光烧蚀用组合物的情况下,通过在基板101上涂布含有含有以下成分的粒子103的激光烧蚀用组合物,形成该组合物的层102。在金属元素和有机分散介质104上,以图像方式用激光束照射组合物层,除去用激光束照射的部分中的组合物,并烘烤残留在基材上的组合物层。
版权:(C)2008,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2008013809A
专利类型
公开/公告日2008-01-24
原文格式PDF
申请/专利权人 AZ ELECTRONIC MATERIALS KK;
申请/专利号JP20060185863
发明设计人 NAGAHARA TATSURO;
申请日2006-07-05
分类号C23C14/28;H05K3/08;H05K3;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/318;B23K26/36;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 20:22:41