要解决的问题:在第一物体和第二物体之间提供电缆连接,以减少从第一物体传播到第二物体的振动。
解决方案:第一对象和第二对象之间的电缆连接包括一个电缆束,该电缆束包含一根或多根电缆,电缆的一端固定在第一对象上,另一端固定在第二对象上;电缆束保持器,其被构造为将电缆束保持在沿着电缆束的长度的位置处;控制系统,其被构造为控制电缆束保持器相对于第二物体的位置。用于电缆连接的控制系统,以及用于减小经由电缆连接从第一对象传递到第二对象的振动的方法。
版权:(C)2008,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2008042201A
专利类型
公开/公告日2008-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS BV;
申请/专利号JP20070200649
发明设计人 BUTLER HANS;VAN DUIJNHOVEN MARTINUS;GEERKE JOHAN HENDRIK;DE PEE JOOST;DE HOON CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS;
申请日2007-08-01
分类号H01L21/027;H01L21/68;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 20:22:10