退出
我的积分：
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译：用于测量拉格特约克的装置和制造该装置的方法
公开/公告号SE530413C2
专利类型
公开/公告日2008-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 DAPROX AB;
申请/专利号SE20070000177
发明设计人 BENGT AAKERBLOM;
申请日2007-01-25
分类号G01B7/06;G01B13/06;
国家 SE
入库时间 2022-08-21 20:05:33
机译： 用于测量拉格特约克的装置和制造该装置的方法
机译： 位置测量方法，用于执行位置测量方法的位置测量设备，使用该位置测量方法的设备制造方法以及配备有该位置测量设备的曝光设备
机译： 透镜阵列，波前传感器，波前测量装置，形状测量装置，像差测量装置，光学元件制造方法和光学装置制造方法
