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机译:用微波产生等离子体或自由基的装置
公开/公告号AT504487A4
专利类型
公开/公告日2008-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 TRAXLMAYR ULRICH DIPL.ING. DR.;
申请/专利号AT20070000919
发明设计人 TRAXLMAYR ULRICH DIPL.ING. DR.;
申请日2007-06-13
分类号H01J37/32;C23C16/511;H01L21/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 20:04:39
机译: 微波产生等离子体或自由基的装置
机译: 用微波手段生产等离子体或自由基的装置
机译: 等离子体蚀刻中使用的微波等离子体产生装置-使微波通过其侧面耦合到圆形介电板,以使放电室中产生的电场均匀,从而导致均匀的等离子体分布