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SILICON SUBNITRIDE METHOD FOR PRODUCTION AND USE OF SAID SUBNITRIDE

机译：生产和使用所述亚硫酸盐的硅亚硫酸盐法

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摘要

The invention relates to a novel silicon subnitride, to a method for the production thereof, and to the use of the inventive subnitride.

机译：本发明涉及一种新型的亚氮化硅，其生产方法以及本发明的亚氮化物的用途。

著录项

公开/公告号WO02096799A3

专利类型
公开/公告日2007-11-29

原文格式PDF
申请/专利权人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR;KNIEP RUEDIGER;HABERECHT JOERG;
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申请/专利号WO2002EP05733
发明设计人 KNIEP RUEDIGER;HABERECHT JOERG;
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申请日2002-05-24
分类号C01B21/068;H01L21/318;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 20:02:45

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