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DEVICE AND METHOD FOR INCREASING MASS TRANSPORT AT LIQUID-SOLID DIFFUSION BOUNDARY LAYER

机译:在液固扩散边界层处增加质量传输的装置和方法

摘要

A device and method for increasing the mass transport rate of a chemical or electrochemical process at the solid and fluid interface in a fluid cell. The device includes a membrane in close contact with surface of the work piece, to separate the process cell into two chambers, so that fluid velocity at the work piece is controlled separately from the main cell flow. Thus the diffusion boundary layer is controlled and minimized by the rate that fluid is withdrawn from the work piece chamber.
机译:一种用于增加化学或电化学过程在流体池中固体和流体界面处的质量传输速率的装置和方法。该设备包括一个与工件表面紧密接触的薄膜,可将处理单元分隔为两个腔室,从而可独立于主单元流动来控制工件上的流体速度。因此,扩散边界层通过从工件腔室中抽出流体的速率来控制和最小化。

著录项

  • 公开/公告号EP1506056A4

    专利类型

  • 公开/公告日2008-01-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ENTEGRIS INC.;

    申请/专利号EP20030722015

  • 申请日2003-05-02

  • 分类号B01J35/02;C25B9/00;C25B13/00;C25C7/04;F24J1/00;H01M2/14;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 19:59:00

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