公开/公告号KR20080011421A
专利类型
公开/公告日2008-02-04
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号KR20077028108
发明设计人 RAMASWAMY KARTIK;HANAWA HIROJI;GALLO BIAGIO;COLLINS KENNETH S.;MA KAI;PARIHAR VIJAY;JENNINGS DEAN;MAYUR ABHILASH;AL BAYATI AMIR;NGUYEN ANDREW;
申请日2007-11-30
分类号H01L21/04;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 19:54:13